La gamma mass flow di Axetris è ora disponibile per flussi fino a 20.000 sccm.
La nuova innovazione di Axetris consente di utilizzare un singolo dispositivo di flusso di massa su un’ampia gamma di portate, permettendo di risparmiare sui costi, togliendo allo stesso tempo la complessità di progettazione e logistica. Questa gamma di dispositivi di flusso di massa ha dimensioni sorprendentemente compatte e permette un’eccellente accuratezza e ripetibilità.
Portata: 0 – 20,000 sccm
Accuratezza del flusso: ± 0.2 % F.S.2 / ± 1 % O.R.3
Ripetibilità: ± 0.015 % F.S.2 / ± 0.15 % O.R.3
Risoluzione: 0.01% F.S.2
Dimensioni: 50 x 22 x 52 mm (OEM Mass Flow Controller)