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La gamma mass flow di Axetris è ora disponibile per flussi fino a 20.000 sccm.
Questa ultima innovazione consente di utilizzare un singolo dispositivo MFC per un’ampia gamma di FS con un evidente risparmio economico. Questi controller di flusso hanno dimensioni sorprendentemente compatte e consentono di ottenere un’eccellente accuratezza e ripetibilità.
CARATTERISTICHE:
- Flusso maggiorato
- Ripetibilità eccellente
- Dimensioni ultra compatte
- Progettato per gli OEM
Portata: 0 – 20,000 sccm
Accuratezza del flusso: ± 0.2 % F.S.2 / ± 1 % O.R.3
Ripetibilità: ± 0.015 % F.S.2 / ± 0.15 % O.R.3
Risoluzione: 0.01% F.S.2
Dimensioni: 50 x 22 x 52 mm (OEM Mass Flow Controller)